無 수은 Probe (Mercury-free Electrical Probe) 
MaxMile의 MF 프로우브는 수은(Hg)을 사용하지 않으며 반도체의 전기적 특성 평가에 광범위하게 사용 가능하다. MF probe는 측정 재료에서 순간적으로 Schottky 나 MOS 디바이스 구조를 형성하므로 시간이 많이 걸리는 metal 공정이 생략되게 됩니다.
또한, MF probe는 신속하고 경제적인 비파괴(NDT) 재료 특성 평가를 가능하게 합니다.
이 시스템은 R&D나 생산 공정의 모니터링, quality control 및 신속한결과 feed back에 매우 유용할 것입니다.

MF Probe의 구성
아래와 같이 측정자가 요구하는 다양한 MF Probe 구성이 가능합니다.
Contact configuration: 한 점 접촉, 두 점 접촉, 2가지의 조합
Contact size: 0.8 - 2 mm, 조정 가능
Probe control 수동, 자동 매핑 가능
측정 stage: 2" (50mm) - 12" (300mm).
Interface: 사용자 요청에 의한 변경 가능.

MF 측정 시스템
• MaxMile은 자체의 특허 기술로 여러가지의 전기적 특성 측정 시스템을 개발하고 있으며 현재기존의 CV/IV 측정을 경제적으로 할 수 있는 시스템을 개발하였다.
•Test frequency: 12Hz-200kHz, 또는 500 test frequency points.
•DC bias: 0-30VDC
•누설 전류 측정: 옵션
•MF probe 구성: 한 점, 두 점 접촉

IV – CV 분석 시스템의 특징 
lInstant and non-destructive
lMercury (Hg) - free
l데이터 매핑 (mapping)

lOxide capacitance
lSeries resistance
lFlatband voltage
lTrap density
lPermittivity