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- 알루미나 (Al2O3) - CMP Slurry - Sputtering 타겟
Sputtering 타겟
 

 사파이어 결정 성장 알루미나 (Al2O3)

사파이어용 고순도 알루미나를 만드는 공정 (2 단계의 purification 공정)
Step 1Alumina2050 ℃ 이상에서 2시간 용융시켜 저온 비등 불순물 (Na )을 증발시킨다.
Step 2고융점의 불순물(Fe, Si, Ca) 들은 controlled 방향성 응고를 통해 제거한다. 

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