X-ray
방위
측정기는 실리콘, 사파이어, SiC, GaN 등의 모든
단결정 웨이퍼나 잉곳의
결정 방위를 측정해 내는 X-ray 장비입니다.
Dandong
회사는
X-ray 고니오미터
전용 제작 업체라서 기술력이 뛰어납니다.
• 잉곳,
웨이퍼의
측정 범위: 2” ~ 300mm , 450mm
• 측정 단결정: ingot, wafer, 기타 작은 조각
• C-면, A-면
등
측정
• 정확도:
±15″
• Minimum
reading: 1″
• Ingot
(boule), Coring, Grindling, Slicing 및 Waferring 등
각 공정별 장비